新素材応用研究部門

走査型電子顕微鏡（SEM-EDX）

　本装置は、光学顕微鏡では実現できない高解像度と長焦点深度により、数万倍まで鮮明に試料表面を観察できる電子顕微鏡です。操作も簡単で、非金属試料でも蒸着などの前処理が不要で観察できます。
　また、エネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置（ＥＤX）を付加しており、観察可能な領域に存在する極微小な付着物等の異物や観察領域全面の元素を分析することができます。（スペクトル測定及び元素分布図）
　Au-Pd、Pt蒸着ができるようになりましたので絶縁物の観察がより鮮明にできるようになりました。

　　SEM-EDX 依頼分析の手引き