光学顕微鏡と走査型電子顕微鏡の中間の解像度を持つ本顕微鏡は、倍率も200〜18,000倍となっており、さらに、試料表面の凹凸を測定することができます。 また、観察視野全域の3次元データをレーザで取得します。非接触なので様々な対象物に対応するうえ、高精度で多彩な3次元解析が行なえます。
※主な用途:線状物質の表面観察、メッキ処理(凹凸)の精度測定など