試料(物質)にX線(一次X線)を照射すると、試料中の原子内の内殻軌道の電子が外に出され、その空位に外殻軌道から電子が遷移します。このときに、発生するのが蛍光X線であり、この蛍光X線の波長から定性分析、その強度から定量分析ができます。本装置は、試料を破壊せずに、微量から多量まで数種類の元素を同時に、定性、定量分析が可能で、固体、粉体及び液体試料の測定ができます。
※主な用途:金属、鉱物、セメント、セラミックス、食品原料等、固体、液体試料の元素分析、定量分析